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掃描電鏡快速給出光子學研究結果

 發布時間:2018/2/9 點擊量:1826
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詳細介紹:

專為研發設計:飛納臺式掃描電鏡

 

傳統的加工通常采用激光燒蝕來切割或銑削材料。 超高速微加工和微機械利用短脈沖激光,在微米尺度下創造或切割2D或3D結構。對這些微結構的分析需要掃描電鏡(SEM),提供高分辨率的大范圍的圖像。因為在使用新材料時要測試的變量很多,所以在開發過程中,需要花費很多時間在設備中進行掃描。很明顯,現場成像微觀結構是必要的。在對不同系統的臺式掃描電鏡和相同的樣品進行圖像評估后,Tommaso Baldacchini博士選擇了飛納臺式掃描電鏡高分辨率專業版Phenom Pro,并指出它是“專門為研究和開發所設計的”。

 

高精度微型加工結構

 

創建微型或納米器件的傳統方法往往不再適用,因為尺寸正不斷縮小。理波(Newport)公司開發了一種利用雙光子聚合(TPP)來制造復雜結構的激光mFAB。TPP是一種印刷技術,可實現特征尺寸小至100 nm的聚合物微結構的真實三維書寫。理波(Newport)公司已將TPP應用于之前不可能用標準制造技術制造的設備。包括微電子學,光子學和用于藥物輸送的生物醫學裝置。

 

這里展示了TPP創建的結構的示例。TPP是*能夠在這些長度范圍內制造物體的技術。臺式掃描電鏡(SEM)是分析這些微觀結構表面特征的*儀器。

 

TPP是一種增材制造工藝,通過激光誘導光聚合將材料添加到基材上。 激光mFAB也可以執行消減類型的過程,如聚合物消融。 在下面一組圖像中顯示了在納米尺度上去除材料的示例。

 

對于這個燒蝕樣品,使用了飛納臺式掃描電鏡高分辨率專業版Phenom Pro來驗證消融線是否清晰完整,是否有碎片或凸起的邊緣。超短脈沖激光器用于激光mFAB的高精度冷切割。材料聚合物和電介質(消融)的應用從光伏到平板顯示器有很多種。

 

掃描電鏡(SEM)提供了所需的景深,可以看到頂部、側面和底部。在微觀和納米尺寸上,需要用飛納臺式掃描電鏡(SEM)對消融結構進行成像。

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